TY  - BOOK
AU  - REINHARD,Karen A.
AU  - KERN,Werner
TI  - Handbook of silicon wafer cleaning technology
T2  - Materials science & process technology series
SN  - 9780815515548
PY  - 2008///
CY  - Norwich, NY
PB  - William Andrew
KW  - UDJG
KW  - DE-Inginerie electronică și telecomunicații
KW  - lucrare de specialitate
N1  - Bibliogr., indice.
AV  - III 24599
ER  -